在波長色散X射線熒光光譜儀在金屬元素的測定分析已經(jīng)是應(yīng)用非常的成熟具有典型的用戶及實驗配套方案。其中，在涂層方面的檢測也有很好的應(yīng)用，如涂料紙上的涂料中有線狀異物，用CCD定點(diǎn)分析可以不破壞樣品得知其組成成分。CCD定點(diǎn)分析是利用儀器的內(nèi)置CCD相機(jī)和樣品臺驅(qū)動裝置，樣品表面任意位置，進(jìn)行定性或定量分析，這是X射線熒光光譜儀ZSX系列新添加的功能。另外，在此介紹如何使用樣品臺驅(qū)動裝置對檢測出的組成成分進(jìn)行元素分布分析。

波長色散X射線熒光光譜儀對涂層中元素的定點(diǎn)分析示例

操作部分

一、分析儀器

二、樣品制備

將涂層樣品直接放入托架待測。

三、測試條件

四、測試結(jié)果

儀器內(nèi)置CCD相機(jī)拍攝的樣品表面圖象如下圖所示。根據(jù)圖象，可以確認(rèn)在中央部位有線狀異物混雜在涂層中。

CCD合成圖象

首先線狀異物部分，空白的涂層部分及涂料紙，將分析面積設(shè)定在1mm范圍內(nèi)進(jìn)行定性分析。由Cu-K可見很大的差別。然后，可確認(rèn)涂層的成分是Ti和Fe，涂料紙的成分是Al,Si和Ca。

異物部分(蘭色)和涂層部分(紅色)的定性圖表

根據(jù)定性分析結(jié)果得到的成分組成進(jìn)行元素分布分析。由于進(jìn)行元素分布分析時使用樣品臺驅(qū)動裝置，所以樣品可以直接移動到分析點(diǎn)，能夠不改變與分辨率有關(guān)的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行穩(wěn)定的測試。根據(jù)元素分布分析結(jié)果推斷，樣品中混有銅絲。

根據(jù)各部分代表成分的元素分布圖象

五、總結(jié)

日本理學(xué)波長色散型X射線熒光分析法和電子分析法不同，譜峰不受充電的影響，不需要特殊的樣品制備。另外，與電子分析相比，熒光X射線的穿透力強(qiáng)，可以分析厚涂層下的成分，在涂層應(yīng)用提供用力的幫助，提高生產(chǎn)質(zhì)量，帶動工廠利益的提升。